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VALVO Hamburg gehört seit langem zu Philips

Dort werden Plumbicons und auch CCD Chips produziert und dort sitzen die deutschsprachigen Ingenieure und Fachleute, die das alles erklären können - auf Deutsch.

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Halbleiterbildaufnehmer NXA1010 und NXA1020 (841109 VALVO Technische Information) aus dem Jahr 1984

Bildaufnehmer NXA 1011
hier der Vorgänger-Prospekt

bearbeitet von G. Euler nach Berichten von M. Herrmann und L. Gabler und Beiträgen von H. Becker, U. Feddern und S. zur Verth aus dem Jahr 1984
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Inhalt
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  • 1. Halbleiterbildaufnehmer - Anwendungen, Besonderheiten
  • 2. Arbeitsweise der neuen Bildaufnehmer
  • 2.1. CCD-Prinzip
  • 2.2. Frame-Transfer-Struktur
  • 2.3. Einige Einzelheiten der FT-Bildaufnehmer NXA 1010 und NXA 1020
  • 3. Impulsablauf zur Steuerung des FT-Bildaufnehmers
  • 4. Integrierte Schaltungen zur Ansteuerung der FT-Bildaufnehmer NXA 1010 und NXA 1020

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1. Halbleiterbildaufnehmer - Anwendungen, Besonderheiten

In den letzten Jahren richtet sich das Interesse der Kamerahersteller sowie industrieller und gewerblicher Anwender auf kleine miniaturisierte Fersnseh-Kameras, die mit Halbleiterbildaufnehmern (SSIS: Solid-State-Image-Sensor) arbeiten.

SSIS-Bauelemente haben gegenüber Kameraröhren folgende vorteilhafte technologie- und bauartbedingte Eigenschaften:

  • 1. kein Einbrennen,
  • 2. keine Trägheit,
  • 3. keine Beeinflussung durch Magnetfelder,
  • 4. keine geometrischen Verzerrungen des Bildes,
  • 5. hohe Stoß- und Vibrationsfestigkeit (keine Mikrofonie),
  • 6. niedrige Betriebsspannung,
  • 7. niedrige Leistungsaufnahme,
  • 8. sehr geringe Abmessungen,
  • 9. geringe Masse,
  • 10. gute Konstanz der optischen und elektrischen Eigenschaften (Reproduzierbarkeit).


Eine wesentliche Anwendung, die in naher Zukunft in großem Umfang realisiert werden kann, betrifft tragbare, kleine leichte Videokameras für den gewerblichen und privaten Bedarf. Bei dieser Anwendung haben alle Punkte, 1 bis 10, wesentliche Bedeutung. Es ist sicher, daß Videokameras mit Halbleiterbildaufnehmern nunmehr neben röhrenbestückte Kameras treten werden.

Zu den Anwendungen, die durch Halbleiterbildaufnehmer erst möglich oder sinnvoll geworden sind, gehören die Bildauswertung und Mustererkennung, Robotertechnik, Meßtechnik (erst möglich geworden durch Punkt 10).

Die Punkte 1, 3, 5 haben bei extremen Lichtverhältnissen und rauhen Betriebsbedingungen besondere Bedeutung (z. B. Flammraumüberwachung, Maschinenüberwachung). Die Punkte 5, 7, 8, 9 lassen Halbleiter- bildaufnehmer für den Sondereinsatz zur Rohrinspektion in unzugänglicher Umgebung geeignet erscheinen.

In dieser Technischen Information werden der neue SW-Bildaufnehmer NXA 1010 (Bild 1) sowie seine Ansteuerung beschrieben. (Der Farbsensor NXA 1020 wird ebenso angesteuert, benötigt aber eine abweichende Signalverarbeitung.)

Die Bildaufnehmer arbeiten mit zwei ineinander verschachtelten Halbbildern zu je 294 Zeilen. Nach der CCIR-Norm werden im sichtbaren Bereich nur 576 Zeilen (d. h. zwei Halbbilder zu je 288 Zeilen) benötigt. Die restlichen Zeilen dienen u. a. zur Schwarzwertreferenz und zu Prüfzwecken. Der Sensor NXA 1010 hat eine nutzbare Bildpunktanzahl von 604 (horizontal) mal 576 (vertikal). Das Seitenverhältnis beträgt 4:3 mit einer Bilddiagonalen von 7,5mm, die dem 1/2"-Kameraröhrenformat entspricht.

Der Bildaufnehmer arbeitet nach dem Frame-Transfer-Prinzip (FT), das später besprochen wird.

Außer den oben aufgezählten Eigenschaften haben die Valvo Bildsensoren eine gute Blauempfindlichkeit, da die Bildpunkte nicht mit Leiterbahnen überdeckt sind. Zusammen mit der Überstrahlfestigkeit von fünf Blendenwerten ergeben diese Vorteile eine besondere Eignung des Sensors für Fernsehsysteme, in denen farbwertrichtige Grauwertwiedergabe *1) und gute Verarbeitung von Spitzlichtern gefordert werden, z. B. in Schwarzweiß-Überwachungskameras, speziell in Rohrkameras und anderen miniaturisierten Ausführungen, aber auch in Reportagefarbkameras mit Prismenfarbteiler und drei Sensoren.

*1) Durch geeignete Fabrikationsverfahren sind die IR-Anteile in der Spektralkurve unterdrückt.

Für das angewandte Fernsehen sowie für Videokameras sind Einchip-Lösungen geeigneter und preisgünstiger. Durch ein zusätzlich aufgebrachtes Streifenfilter erhält man den Farbsensor NXA 1020. Von den drei Ausgangsregistern können dann drei geeignete Farbauszüge abgenommen werden.

Die Kristallgröße ....

Ein wesentliches Kriterium für die Realisierung einer VLSI-Schaltung (Very Large Scale Integration) bildet aus fertigungstechnischer Sicht die Kristallgröße. So sind zunächst Bildaufnehmer mit verhältnismäßig kleinen Kristallen, aber auch mit geringer Bildpunktzahl entwickelt worden.

Erst durch die weiteren Fortschritte der MOS-Techniken (Metall Oxid), die u. a. auch zur Herstellung von Mikrocontrollern, Speichern und anderen komplexen Systemen auf großen Kristallflächen dienen, ist es inzwischen möglich, SSIS mit großer Bildpunktzahl und -dichte wirtschaftlich zu fertigen und zusätzliche Farbfilterstrukturen vorzusehen. Im fotoempfindlichen Bereich des neuen Bildaufnehmers NXA1010 sind hunderttausende von Bildelementen vorhanden, an die große Anforderungen bezüglich Signalgleichmäßigkeit und Fleckenfreiheit gestellt werden. Bei 604 x 576 nutzbaren Bildpunkten (CCIR-Norm) erhält man eine Gesamtanzahl von 347.904; nicht gerechnet sind weitere Elemente für Meßzwecke.

Für die hohe Bildpunktdichte ist ein Objektiv mit einer geeigneten Auflösung erforderlich. Durch die Anwendung des CCD-Verfahrens ist es möglich, die pro Bildpunkt durch Fotonen erzeugten Ladungspakete zu speichern und einzeln zum Ausgang des Systems zu führen, indem sie ausgelesen werden können und der weiteren Signalverarbeitung zugänglich werden.

2. Arbeitsweise der neuen Bildaufnehmer

2.1. CCD-Prinzip

Das CCD-Prinzip spielt eine zentrale Rolle bei der Wirkungsweise der neuen Bildaufnehmer: Es wird zur Ladungstrennung im Fotobereich, zum Ladungstransport aus dem Foto- in den Speicherbereich sowie zur Ausgabe der Information verwendet.

Bild 2 zeigt den Transportvorgang. Im oberen Bildteil wird eine MOS-Struktur eines 4-Phasen-CCD-Schieberegisters mit Taktphasen-Elektroden ?1 ... ?4 gezeigt. Im Kristall vorhandene Elektronen (die z. B. durch Lichteinwirkung entstanden sind) konzentrieren sich stets unterhalb der auf höherem Potential (Zustand H) liegenden Elektroden. Das LOW-Potential verdrängt sie und bildet so eine Abgrenzung zwischen den Ladungspaketen. Im Zeitpunkt t1 befinden sich die Taktphasen ?l, ?3, ?4, ?1... im Zustand H, ?2 im L-Zustand.
Im unteren Bildteil wird der Potentialverlauf an den Taktphasen ?1 ... ?4 gezeigt, der zum Verschieben der Ladungen im CCD-Register nötig ist. Im Zeitpunkt t2 geht ?3 in den Zustand L über, und die linke Kante des Ladungspaketes rutscht nach rechts unter die Elektrode ?4. Die Ladungen befinden sich nunmehr unter ?4 und ?1.

Im nächsten Schritt zur Zeit t3 nimmt ?2 den Zustand H an, und das Ladungspaket dehnt sich bis unter ?2 aus. Die Ladungspakete sind um die Breite einer Taktelektrode nach rechts gewandert. Im Zeitpunkt t4 wird die linke Kante der Ladungsbereiche nach ?1 verlegt, da ?4 in den Zustand L übergegangen ist. Ein entsprechender Vorgang ist bereits zum Zeitpunkt t2 erfolgt. Der Verschiebungsprozeß geht dabei so vor sich, daß die Ladungen teilweise auf den früheren Plätzen verbleiben können. Die Impulse „überlappen" einander. Durch Taktphasen im Zustand L sind die Ladungspakete voneinander getrennt.

In Bild 3 sind das Impulsdiagramm und in einer anderen Darstellung die räumliche Verteilung von Ladungspaketen in Abhängigkeit von der Zeit dargestellt. Die Ladungen bewegen sich senkrecht von oben nach unten (z. B. aus dem Fotobereich in den Speicherbereich eines Frame-Transfer-Bildaufnehmers). Jede Spalte des unteren Bildteils entspricht der Lage der Ladungen zu einem bestimmten Zeitpunkt t1,t2, ..... Man erkennt, daß die Ladungen schrittweise abwärts wandern: Zunächst werden sie von oben her zusammengedrängt (auf zwei Elektroden) Zeitpunkte t2, t4 ...., dann erweitern sie sich nach unten auf drei Elektroden und sind nun um eine Elektrodenbreite weiter nach unten transportiert worden.

2.2. Frame-Transfer-Struktur

Beim Frame-Transfer-Bildaufnehmer (FT) sind der Fotobereich und der Speicherbereich voneinander getrennt (Bild 4). Es handelt sich um eine sehr ausgedehnte VLSI-Schaltung, bei der dem optisch wirksamen Bildbereich ein etwa gleich großer Speicherbereich zugeordnet ist, der gegen Lichteinfall geschützt wird. FT-Bildaufnehmer sind spaltenförmig so organisiert, daß die Bild- und Speicherpunkte in horizontaler Richtung durch schmale, senkrecht verlaufende Stoppdiffusionszonen voneinander getrennt sind.

Zur Auslesung wird während eines Halbbildes die optische Information integriert, die zu den jeweiligen Bildpunkten gehört, und in der Austastlücke in den Speicherbereich übertragen. Die elektrische Auslesung der Bildinformation erfolgt während des nächsten Halbbildes mit Hilfe des Ausleseregisters, während erneut optische Informationen im Bildbereich des Sensors integriert werden.

Als wesentliche Vorteile bietet das FT-Prinzip:

a) kleines Bildformat mit großer Bildpunktdichte und -anzahl,
b) einfache Farbfilterstrukturen mit definierten Ausgangsregistern für Farbauszüge.

Trotz Vervielfachung der Bildpunktanzahl gegenüber dem RGS-Sensor kann das Super-8-(1/2"-Röhren-) Bildformat beibehalten werden, da infolge der Technologiefortschritte kleinere Bildpunkte und neue Strukturen möglich geworden sind. So betragen beim Sensor NXA1010 die Abmessungen für einen Bildpunkt nur noch 10 um in Horizontalrichtung und 15,6 um in Vertikalrichtung.

2.3. Einige Einzelheiten der FT-Bildaufnehmer NXA1010 und NXA1020

Eine gegenüber Bild 4 detaillierter ausgeführte Aufbauskizze zeigt Bild 5. Der Bild-(Aufnahme-) und der Speicherbereich sind praktisch gleich aufgebaut. Beide sind mit je einem 4-Phasen-CCD-Schieberegister unterlegt.

Ein Bildpunkt eines jeden Halbbildes umfaßt etwa drei Taktphasen-Elektrodenbreiten in vertikaler Richtung.

Das erste Halbbild entsteht, indem die Taktphasen ?2, ?3, ?4 hohes Potential (HIGH-Zustand) und die Taktphasen ?1 niedriges Potential (LOW-Zustand) erhalten (vgl. Bild 6a). Die durch Lichteinfall erzeugten Ladungen sammeln sich unter den Elektroden ?2 bis ?4 und sind in vertikaler Richtung von den nächsten Ladungspaketen durch das negative Potential bei ?1 getrennt. Damit entsteht eine Integration der Ladungen für einen Halbbildpunkt mit dem Ladungsschwerpunkt bei ?3.

Die Potentialverteilung und damit die Lage des zweiten Halbbildes geht aus der Skizze Bild 6b hervor: Das zweite Halbbild ist stets so gegen das erste verschoben, daß der Ladungsschwerpunkt unter ?1 liegt. Die Trennung vom nächsten Halbbildpunkt (der gleichen Spalte) erfolgt beim zweiten Halbbild über die Elektroden ?3 (Zustand LOW). Beide Halbbilder sind um zwei Taktphasen-Elektrodenbreiten gegeneinander lageverschoben. Die 4-Phasen-CCD-Struktur ergibt also eine vollkommen symmetrische Halbbildintegration.

Der Transport der integrierten Ladungspakete aus dem Bildbereich in den Speicherbereich ist bereits anhand von Bild 3 erläutert worden. Schließlich befindet sich ein vollständiges Halbbild im Speicherbereich des Bildaufnehmers.

Zum Auslesen des Halbbildes gelangen über drei Transfergates die Ladungen zeilenweise in die drei Ausleseregister. Das zeilenweise Auslesen des Speicherbereiches geschieht während der Integration im Bildbereich. Dabei befindet sich der erste Bildpunkt jeweils im ersten, der zweite im zweiten, der dritte im dritten Ausleseregister. Der Grund für diese Organisation des Auslesevorgangs liegt in der Möglichkeit des Farbbetriebes mit Streifenfiltern. In diesem Fall gelangt in das erste Ausgangsregister die „Cyan"-lnformation, in das zweite „Grün" und in das dritte „Gelb". Aus Gründen der Einheitlichkeit wurde dieses Prinzip auch für S/W-Sensoren beibehalten. Die Ausleseregister sind dreiphasig aufgebaut und mit einer Ausgangsstufe (Source-Folger) versehen.

3. Impulsablauf zur Steuerung des FT-Bildaufnehmers

Zunächst wird eine geraffte Darstellung als allgemeiner Überblick über den Impulsablauf und die Zeilennumerierung in Bild 7 gegeben. Zusätzlich sind einige für die PAL-FS-Norm charakteristische Impulsverläufe (die auch in der Kamera auftreten) eingezeichnet:

H: Horizontal-Impuls,
CB: Austastsignal (composite blanking).

Mit diesen Impulsverläufen wird die Einbindung des Bildaufnehmers in die PAL-Fernsehnorm verdeutlicht. Zu den beiden Halbbildern sind die betreffenden FS-Zeilennummern, die CCD-Zeilennummern für den Bildaufnehmer und die gerafften Potentialverläufe an den Taktphasen ?1A, ?3A im Bildbereich angegeben. Durch „V" und Schraffur sind die zur Bildaufnahme verwendeten Zeilen hervorgehoben.

Der Bildbereich für das erste Halbbild erstreckt sich von Zeile 23 bis 310, der Bildbereich für das zweite Halbbild von Zeile 335 bis 623. Die Zeilen 314 und 2 dienen zur Schwarzwertreferenz, die Zeilen 312 sowie 624, 625 jeweils sind Testzeilen zur Prüfung des Sensors. Die Zeilen 623 bis 23 werden ausgetastet und nicht für die Bildübertragung verwendet.

Das Bild zeigt einen vollständigen Zyklus des Bildaufnehmers, d. h. Aufnahme und Ausgabe von je zwei Halbbildern.

Zu Beginn der Darstellung (oben links, Bereich V) wird das erste Halbbild aufgenommen (es erfolgt die Integration der Signalladung). Gleichzeitig wird das zweite Halbbild ausgelesen (d. h., an den drei Ausgängen des Ausleseregisters erscheint die Bildinformation, die das 2. Halbbild darstellt).

An diese Phase schließt sich der schnelle Transport des aufgenommenen Bildes vom Bildaufnahmeteil in den Speicherteil an (Bereich II in Bild 7). Dieser Bereich, der durch die Balken mit Diagonalkreuzen skizziert ist, soll schematisch viele schnell ablaufende Transportimpulse darstellen.

Nach der Fernsehnorm dauert die Schwarztastung länger, als es für den Halbbildtransport erforderlich ist. Daher schließt sich ein Zeitraum an, in dem kein Signal ausgelesen wird (Bereich IV). Erst in der 23. Fernsehzeile wird mit dem Auslesen der 1. Sensorzeile begonnen (Bereich V, im oberen Bildteil rechts). Während das erste Halbbild ausgelesen wird, erfolgt bereits die Aufnahme (Integration) des zweiten Halbbildes (oben rechts und unten links). An dieses Auslesen und Integrieren schließt sich wieder ein Signaltransport (2. Halbbild) vom Bildbereich III in den Speicherbereich an. Der Ablaufzyklus beginnt erneut.

Die Bilder 8 bis 11 zeigen den geschilderten Impulsablauf nach Bild 7 im Detail. Der Transport der beiden Halbbilder (II) und (III) ist in den Bildern 8 und 9 dargestellt. Die Impulsabläufe bei II und III unterscheiden sich bei den Taktphasen ?a im Bildbereich.


Um die beiden Halbbilder, die um einen halben Zeilenabstand gegeneinander verschoben sind, an die richtige Stelle zu bringen, muß bei III (Bild 9) ein halber Taktzyklus zu Beginn und am Ende der ?A-Impulse zugefügt werden. Alle Restladung, die im Speicherteil zurückgeblieben ist, soll entfernt werden. Deshalb ist das Transfergate 1 (TG1) geöffnet, und die horizontalen Ausgangsregister werden weitergetaktet (Phasen ?c).


In der vertikalen Austastlücke, die durch die Impulsfolge CB (CB = HIGH) gegeben ist, laufen einige Impulse an den Transfergates TG2 und TG3 *) und den Taktphasen in den Ausleseregistern ?c weiterhin wie beim Auslesen ab. (Sie sind an dieser Stelle nicht erforderlich.)
*) TG2 und TG3 sind intern elektrisch miteinander verbunden.

Unmittelbar nach dem Halbbildtransport erfolgt eine Pause, die Wartephase IV, während der kein Signal weitertransportiert oder ausgelesen wird (Bild 10). Das Bildsignal wird durch das gesperrte Transfergate 1 zurückgehalten. Die Phasen ?c und TG2 werden weitergetaktet.

Im Bildaufnahmeteil (Bilder 11 u. 7) wird bereits ein neues Halbbild integriert, daher werden die Phasen ?a nicht getaktet. Im Speicherteil wird jeweils vor dem Beginn einer neuen Zeile um einen Zyklus weitergetaktet (Phasen ?b). ?3B bildet die letzte Elektrode des Speicherteils. Daran schließt sich das Transfergate TG1 an, das die Signalladung vom Speicherteil in das obere horizontale Ausgangsregister weiterleitet.

Zwischen diesem oberen Register und den beiden Ausgangsregistern befinden sich zwei weitere Transfergates, die elektrisch miteinander verbunden sind (TG2). Die Impulsfolge während der horizontalen Austastlücke (beteiligt sind ?3B, TG1, TG2, ?1c, ?2c, ?3c) bewirkt, daß die Signalladung richtig in die drei Ausgangsregister einsortiert wird. Das Signal, das im unteren Register ankommen soll, muß dabei über die Transfergates die beiden anderen Register durchqueren.

4. Integrierte Schaltungen zur Ansteuerung der FT-Bildaufnehmer NXA1010 und NXA1020

Im vorigen Abschnitt 3 sind die zur Ansteuerung der Bildaufnehmer nötigen Impulsfolgen gezeigt worden. Valvo bietet mehrere integrierte Schaltungen an, die den Betrieb der FT-Bildaufnehmer nach der üblichen Fernseh-Norm CCIR/PAL ermöglichen.

Bild 12 zeigt eine Blockschaltung für die Ansteuerung der Bildaufnehmer NXA1010/1020 und die Verknüpfung der einzelnen integrierten Schaltungen. Daraus geht hervor, in welcher Weise die einzelnen integrierten Schaltungen zusammengefügt sind. Die Zahlen an den Verbindungen besagen, wie viele einzelne Signalleitungen jeweils benötigt werden.

Der Synchron-Impulsgenerator SYN (SAA1043) dient zur Impulserzeugung für unterschiedliche Fernsehnormen. Es handelt sich um einen universell einsetzbaren Baustein, der sämtliche Impulsabläufe in einem Fernsehsystem für die Normen PAL, SECAM und NTSC liefern kann. Dazu gehören Bildaustastung, Zeilenaustastung, Schwarzklemmung oder Synchronisierung. Er liefert ferner weitere für den Betrieb der Kamera wichtige Signale und ist z. B. für VCR-Betrieb extern triggerbar.

Der vom Synchrongenerator angesteuerte Impulsmuster-Generator PPG (Puls-Pattern-Generator SAB 1007) ist speziell für den Betrieb der Bildaufnehmer entwickelt worden. Er liefert alle notwendigen Taktsignale, ausgenommen die Impulse für das horizontale Ausleseregister.

Es handelt sich um:
- Transportimpulse für die Ladungspakete vom Fotobereich zum Speicherbereich ?A und ?,
- Impulse für den Transport der jeweils letzten Zeile des Speicherbereiches in die drei horizontalen Transportregister ?b- und TG-Impulse (Trennung der Farbsignale bei Farbsensoren).

Alle diese „Betriebsvorschriften" für den FT-Sensor sind in diesem IC gespeichert, so daß für den Anwender die Eigenentwicklung von aufwendigen Impulsschaltungen zur Ansteuerung der FT-Sensoren nicht notwendig ist.

Im „Pixel"-Oszillator PXO (TDA 4302) werden die schnellen Taktimpulse für die drei horizontalen Ausleseregister erzeugt. Es handelt sich um einen Start/Stopp-Oszillator, der drei Folgen von Taktimpulsen mit einer Frequenz von ca. 3,9 MHz und einer Phasenverschiebung von einer Drittelperiode liefert. Während eines Zyklus des Oszillators wird ein Bildpunktesatz erzeugt (daher wird diese integrierte Schaltung Pixel-Oszillatorgenannt).

Während des Zeilenrücklaufs wird die Schwingung dieses Oszillators unterbrochen, und an die Ausgänge des PXO werden die langsameren, vom PPG stammenden Impulse gelegt. Dabei findet das Sortieren der Ladungspakete in den drei horizontalen Ausleseregistern statt. Die genannten integrierten Schaltungen stellen die Steuersignale auf sehr geringem Leistungsniveau zur Verfügung.

Zur Ansteuerung der FT-Bildaufnehmer werden eine höhere Amplitude und mehr Leistung benötigt. Hierzu sind die Treiberschaltungen HDR (horizontal) und VDR (vertikal) notwendig.

Die zwei Vertikal-Treiberschaltungen VDR (TDA 4301) dienen zur Erzeugung der notwendigen Leistung für die vier Phasen des Bild- und des Speicherbereiches ?1A ... ?4a, ?1B ... ?4B. TG1, TG2. Die Horizontal-Treiberschaltung HDR (TDA 4305) erzeugt die notwendige Leistung für die drei Phasen der Ausgangsregister ?1C ... ?3C. Die Impulse müssen mit Gleichspannungen unterlegt werden. Hierzu dienen die angedeuteten Potentiometerschaltungen. Sie können entweder diskret aufgebaut oder unter Verwendung des DC-Controllers DCC (TDA 4304) eingesetzt werden.

Am Ausgang dienen drei einfache Transistorschaltungen für die weitere Verstärkung und Impedanzwandlung. An den Ausgängen stehen jeweils die Informationen von drei benachbarten Bildpunkten einer Zeile zur Verfügung. Die drei benachbarten Bildpunkte entsprechen beim Farbsensor den drei Farbinformationen. Schaltungen für die Signalverarbeitung befinden sich zur Zeit in Vorbereitung*).

*) Muster stehen voraussichtlich ab Anfang 1985 zur Verfügung.



Bild 1. Halbleiterbildaufnehmer NXA 1010 und Farbsensor NXA 1020
Bild 2.
Oben: Ladungsverteilung in einem CCD-Register zu verschiedenen Zeitpunkten t-i bis t4
Unten: Potentiale an den Taktphasen-Elektroden U (0j) bis U (04) in Abhängigkeit von derzeit
Vertikale Verschiebung der Ladungspakete
Bild 3.
Vertikale Verschiebung der Ladungspakete
Oben: Potentialverlauf an den Taktphasen-Elektroden Unten: Räumliche Verteilung der Ladungspakete im CCD-Register zu den Zeiten th t2,...

Bild 4. Frame- Transfer-Sensor
Bild 5. Zum Aufbau der FT-Bildaufnehmer
Bild 6. Integrationsvorgang
Bild 7. Überblick: Impulsdiagramm und Numerierung der CCD-Zeilen und FS-Zeilen
Bild 8. Diagramm zum Bereich II von Bild 7; Transport des 1. Halbbildes, Zeilen 4 bis 11


Bild 9. Diagramm zum Bereich III von Bild 7; Transport des 2. Halbbildes, Zeilen 316 bis 323
Bild 10. (Seite 9, oben) Diagramm zum Bereich IV von Bild 7; Wartephase, Zeilen 11 bis 22 und 323 bis 334
Bild 11. (Seite 9, unten) Diagramm zum Bereich V von Bild 7;
Auslesen der Bildinformation und Übertrag der Zeilen in das Ausleseregister
Bild 12. Schaltungssatz zum Betrieb von NXA 1010 und NXA 1020 und Gehäuseskizzen

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